ナノテクノロジープラットフォーム支援分野

微細加工プラットフォームコンソーシアム

 北海道大学では光・電子・スピンを制御する新規ナノデバイス創製、バイオテクノロジーや新規マテリアル開発といったナノテクノロジーにより先端研究を加速することが可能な分野への微細加工支援を行います。高精度加工装置群と独自の加工技術に研究者の経験と熱意を結びつけ、最先端の研究開発支援・技術相談サービスを提供します。

 学内2ヶ所のクリーンルームを開放し、リソグラフィー・成膜・エッチングなどの装置群を組み合わせて最適なデバイス作製を行うと共に、装置講習などを通じて人材育成も努めることで我が国の新しい技術・産業創出への支援を行っていきます。また、事業は創成研究機構に設置したナノテクノロジー連携研究推進室で行います。

 機構内には産学連携本部があり、道立の公設試やベンチャー企業が集うビジネススプリングとも近い位置関係にあり、企業群への支援にも積極的に取り組める環境を整えています。

微細構造解析プラットフォーム

 北海道大学では (1)表面構造 (2)内部構造・3D構造 (3)電子状態分析の観点からナノ~マイクロメートルオーダーにわたる材料・デバイスの分析・評価、に関する研究支援を行います。

(1)最新のX線光電子分光装置,オージェ電子分光装置、電子線プローブマイクロアナライザーといった表面分析装置による表面構造解析支援

(2)2台の高エネルギーイオン加速器を持つ世界に唯一の超高圧電子顕微鏡を含めた多種多様な電子顕微鏡群とSEM-FIBなどの試料加工装置の組み合わせによる内部構造・3次元構造解析支援

(3)環境セルホルダーを用いたその場観察TEMや超高真空・極低温・強磁場SPMを用いた環境制御下での分析支援、超高速時間分解光電子顕微鏡や高速スペクトルイメージング対応レーザー共焦点顕微鏡などを用いた電子状態やナノ材料のリアルタイム動態の解析が可能なシステムを提供、

新機能ナノ物質創出や新規デバイス創製への研究、技術、製品開発の支援を行います。

 

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