ナノテクノロジー微細加工に要求される先端機器群の利用提供と、
微細構造解析に関するノウハウの提供、データの解析等も含めた総合的な支援を実施致します。
多様なナノデバイス・ナノ材料の表面・内部構造またその電子状態について様々な環境下で分析・評価を行える研究支援体制を整えています。ユニークな装置群と研究者・技術者が長年培ってきた技術・経験・英知を結びつけ、イノベーション創出への研究開発支援・技術相談サービスを提供します。
事業の概要と目的
北海道大学では（1）表面構造（2）内部構造・3D構造（3）電子状態分析の観点からナノ～マイクロメートルオーダーにわたる材料・デバイスの分析・評価に関する研究支援を行います。
最新のX線光電子分光装置、オージェ電子分光装置、電子線プローブマイクロアナライザーといった表面分析装置による表面構造解析支援、2台の高エネルギーイオン加速器を持つ世界に唯一の超高圧電子顕微鏡を含めた多種多様な電子顕微鏡群とSEM-FIBなどの試料加工装置の組み合わせによる内部構造・3次元構造解析支援、環境セルホルダーを用いたその場観察TEMや超高真空・極低温・強磁場SPMを用いた環境制御下での分析支援、超高速時間分解光電子顕微鏡や高速スペクトルイメージング対応レーザー共焦点顕微鏡などを用いた電子状態やナノデバイスのリアルタイム動態の解析が可能なシステムを提供し、最先端の新機能ナノ物質創出や新規デバイス創製への研究、技術、製品開発の支援を行います。
プロジェクトについて
文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業は最先端の機器ナノテクノロジーに関する最先端の研究設備とその活用のノウハウを有する機関が緊密に連携して，全国的な設備の共用体制を共同で構築するものです。
微細加工・微細構造解析・分子物質合成の3領域で構成され、領域ごとの特徴的な機能と装置を活かして研究支援を行います。
北海道大学では「微細加工プラットフォームコンソーシアム」と、「微細構造解析プラットフォーム」の２つの領域において研究支援を行います。
「微細加工プラットフォームコンソーシアム」ではクリーンルームに設置した加工装置群を用いることでミクロン～ナノメートルスケールの微細加工についての研究支援を「微細構造解析プラットフォーム」では種々の電子顕微鏡を駆使した材料の表面・内部構造分析についての研究支援を行います。
支援実績
微細構造解析プラットフォーム
微細構造解析プラットフォームの代表機関のホームページ上で、過去の利用報告書の閲覧が可能です。
http://www.nims.go.jp/acnp/report.html
書類ダウンロード
支援課題申請書の提出先：nanoplat☆cris.hokudai.ac.jp（☆を@に変更してください）
