概要
ナノテクノロジー連携研究推進室では、微細加工に要求される先端機器群の利用提供と、微細構造解析に関するノウハウの提供、データ解析等も含めた総合的な支援を実施します。
ユニークな装置群と研究者・技術者が長年培ってきた技術・経験・英知を結びつけ、イノベーション創出への研究開発支援・技術相談サービスを提供します。
沿革
平成24年度に、文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」を推進する組織として全学組織である、創成研究機構内に設置されました。電子科学研究所、工学研究院、情報研究院の共用施設が連携して事業推進を行っています。
提供しているサービス
学内外向けに微細加工、微細構造解析に関する装置、技術提供を行っています。
（１）微細加工プラットフォーム
光・電子・スピンを制御する新規ナノデバイス創製、バイオテクノロジーや新規マテリアル開発といったナノテクノロジーにより先端研究を加速することが可能な分野への微細加工支援を行います。高精度加工装置群と独自の加工技術に研究者の経験と熱意を結びつけ、最先端の研究開発支援・技術相談サービスを提供します。学内2ヶ所のクリーンルームを開放し、リソグラフィー・成膜・エッチングなどの装置群を組み合わせて最適なデバイス作製を行うと共に、装置講習などを通じて人材育成も努めることで我が国の新しい技術・産業創出への支援を行っていきます。
（２）微細構造解析プラットフォーム
表面構造、内部構造・3D構造、電子状態分析の観点からナノ～マイクロメートルオーダーにわたる材料・デバイスの分析・評価、に関する研究支援を行います。
- 最新のX線光電子分光装置，オージェ電子分光装置、電子線プローブマイクロアナライザーといった表面分析装置による表面構造解析支援
- 2台の高エネルギーイオン加速器を持つ世界に唯一の超高圧電子顕微鏡を含めた多種多様な電子顕微鏡群とSEM-FIBなどの試料加工装置の組み合わせによる内部構造・3次元構造解析支援
- 環境セルホルダーを用いたその場観察TEMや超高真空・極低温・強磁場SPMを用いた環境制御下での分析支援、超高速時間分解光電子顕微鏡などを用いた電子状態やナノ材料のリアルタイム動態の解析が可能なシステムを提供
これらにより、新機能ナノ物質創出や新規デバイス創製への研究、技術、製品開発の支援を行います。
関係リンク
お問い合せ
ナノテクノロジー連携推進室
Email nanoplat(at)cris.hokudai,ac,jp ※(at)を@（半角）に変えて下さい