【ナノテクノロジープラットフォーム】MEMS実践セミナー『リソグラフィーコース』参加者募集

2013年12月17日（火）、および2014年1月14日（火）～16日（木）北海道大学　電子科学研究所、創成科学研究棟クリーンルームにおきまして、ＭＥＭＳ実践セミナー『リソグラフィーコース』が開催されますのでご案内いたします。

趣旨

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　文部科学省委託事業である”ナノテクノロジープラットフォーム”の一環として、ＭＥＭＳ実践セミナーを開催します。このセミナーでは、初めてＭＥＭＳを作りたい方から、制御回路を集積した高機能化を目指す方を対象とした、基礎から応用までの一貫した講座となっています。微細加工プラットフォームが保有する加工設備を使ってどのようなＭＥＭＳができるかがご理解いただけると思います。
　また、このセミナーへの参加をより充実した機会にするために、実際にＭＥＭＳデバイスを作る有料の実習コースを併設しています。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。 なお、アドバンストコースの日程は、参加者と相談の上決めます。 北海道大学においては、東京大学で開催されるMEMS実践セミナーをネット配信による受講会場を提供すると共に、実習コースとして「リソグラフィーコース　―電子線描画装置を用いたマスク作製―」を開催します。

主 催

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　微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム　(http://nsn.kyoto-u.ac.jp/)

プログラム（北海道大学）

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a) ＭＥＭＳ実践セミナー（無料）　

　東京大学、東北大学、京都大学で3元中継開催されるMEMS実践セミナーを、ネット配信により受講していただきます。

時　間	講　義	所　属/講　師
13:00-13:05	Opening	微細加工PFコーディネータ   有本　宏 氏
13:05-14:00	MEMS作製プロセスの基礎	京都大学   田畑　修　氏
14:00-14:30	マイクロ流路作製	京都大学   横川 隆司　氏
14:30-15:00	マイクロアクチュエータの基礎	豊田工業大学   佐々木 実 氏
15:00-15:10	休憩
15:10-15:40	超音波による物体非接触支持技術とそのMEMS圧力センサによる計測	埼玉大学   高崎 正也 氏
15:40-16:10	集積化MEMSのためのパッケージング	東北大学   戸津 健太郎　氏
16:10-16:40	集積化MEMSのメリットとその実例	東京大学   三田 吉郎 氏
16:40-17:10	MEMSの設計・評価におけるシミュレーション	みずほ情報総研
17:10-17:20	微細加工プラットフォームの紹介	微細加工PFコーディネータ   落合 幸徳 氏
17:20～	技術相談コーナー

 

b) 電子ビームリソグラフィコース（有料）：

　北海道大学創成科学研究棟において、フォトリソグラフ用高精細マスク作製のための電子線描画装置の実習を行います。CADによる作図方法から実機の操作方法までを講習します。

開催場所・日程・定員

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a) ＭＥＭＳ実践セミナー（無料）　：

12月17日(火)　　　北海道大学　電子科学研究所内 （アクセス）

b) 電子ビームリソグラフィコース（有料）：

2014年1月14日（火）～16日（木）　北海道大学創成科学研究棟クリーンルーム　(最大3名まで受け入れ)　（アクセス）

費用

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・実践セミナー聴講 ： 無料

・電子ビームリソグラフィコース：2万円

募集期間

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平成25年11月1日(金)10：00～12月10日(火)17：00　(原則として先着順)

参加申し込み　および　お問合わせ先

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（独）産業技術総合研究所
ナノエレクトロニクス研究部門 ナノプレセシング施設

　　https://nanoworld.jp/npf/training/h25mems/

　　TEL : 029-861-3210 / FAX : 029-861-3211
　　E-MAIL : npf-info-ml[at]aist.go.jp　（※[at]を＠マークに変更して下さい）