【ナノテクノロジープラットフォーム】微細加工PFセミナーのご案内（2020/12/16）

北大微細加工プラットフォーム主催のWEBセミナーを開催することとなりました。

案内プログラム

微細加工技術は、「パターン作製技術」「薄膜形成技術」「エッチング技術」など、複数の作製技術の組み合わせにより成り立っています。

今回、我々北大微細加工プラットフォームにて今年度導入致しましたレーザー直接描画装置(ハイデルベルグ社製DWL66+)および描画支援ツール(GenISys社製BEAMER)について、メーカーの方々を招いてのWEBセミナーを開催することとなりました。

今回のセミナーにより、皆様方のレーザー描画・電子ビーム描画によるパターン作製技術向上に貢献できることを願っています。

—— 微細加工PFセミナー ———–

日時: 12/16(水) 9:30-12:00

1.「DWL66+のご案内」
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
上瀧英郎様

2.「レーザー直接描画装置DWL66+の基本操作について」
北海道大学電子科学研究所ナノテク連携推進室
教授 松尾保孝

3.「電子ビーム及びレーザ描画における露光データ最適化ツールのご紹介」
GenISys株式会社 清水諭様

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DWL66+およびBEAMERは今年度導入したレーザー直接描画装置および描画支援ツールです。本セミナーをきっかけにご利用を検討していただければ幸いです。
Zoomによるオンラインセミナーですので、参加ご希望の方は申し込みフォームをご記入の上、ナノテク連携室(nanoplat★cris.hokudai.ac.jp　★をアットマークに変更してください)までメールでご連絡ください