支援装置

  • 微細加工
  • 微細構造解析

※装置名をクリックで詳細をご覧いただけます。

■リソグラフィー技術

  • 超高精度電子ビーム描画装置 ELS-F125(エリオニクス)

  • 超高精度電子ビーム描画装置 ELS-7000HM(エリオニクス)

  • 電子ビーム描画装置 ELS-3700(エリオニクス)

  • 電子ビーム描画装置 ELS-7300(エリオニクス)

  • レーザー直接描画装置 DDB-201(ネオアーク)

  • 両面マスクアライナ MA-6(ズース・マイクロテック)

  • マスクアライナ MA-20(ミカサ)

  • 超高速スキャン電子線描画装置 ELS-F130HM(エリオニクス)

■成膜技術

  • 真空蒸着装置 ED-1500R(サンバック)

  • EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 EBX-8C(アルバック)

  • EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 (菅製作所)

  • プラズマCVD装置 PD-220ESN(サムコ)

  • 液体ソースプラズマCVD装置 PD-10C1(サムコ)

  • ヘリコンスパッタリング装置 MPS-4000C1/HC1(アルバック)

  • イオンビームスパッタリング装置 IBS-6000S(アルバック)

  • コンパクトスパッタ装置 ACS-4000-C3-HS(アルバック)

  • 超高真空5源ヘリコンスパッタ Av028(菅製作所)

  • スパッタ SPF-210H(アネルバ)

  • 原子層堆積装置 SUNALE-R(ピコサン)

  • ALD製膜装置 Savannah 100(Cambride NanoTech)

  • ナノカーボン成長炉 Easy tube system(Nano Device)

  • パルスレーザー堆積装置 PAC-LMBE(パスカル)

■エッチング技術

  • ICP高密度プラズマエッチング装置 RIE-101iPH(サムコ)

  • ICP高密度プラズマエッチング装置 RIE-101iHS(サムコ)

  • ICPドライエッチング装置 SPM-200(住友精密)

  • ICP加工装置 EIS-700(エリオニクス)

  • ドライエッチング装置 NLD-500(アルバック)

  • 反応性イオンエッチング装置 RIE-10NRV(サムコ)

  • イオンミリング装置 IBE-6000S(アルバック)

  • ECR加工装置 EIS-200ER(エリオニクス)

■評価技術

  • 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 JSM-6700FT(日本電子)

  • エリプソメータ M-500S(日本分光社)

■その他加工技術

  • FIB加工装置 EIP-3300(エリオニクス)

■その他の共用装置

※支援対象外ですが、利用・技術相談は受け付けております

  • 環境試験器 SH-221(エスペック)

  • デジタル顕微鏡 KH-7700(ハイロックス)

  • 太陽電池評価システム WXS-156SL2,AM1.5GMM(ワコム電創社)

  • 真空紫外露光装置 フォトクリエーターPC-01-H(エヌ工房)

※装置名をクリックで詳細をご覧いただけます。

■超高圧電子顕微鏡施設

  • マルチビーム超高圧電子顕微鏡 HVEM JEM-ARM-1300(日本電子)

  • レーザー超高圧電子顕微鏡 HVEM H-1300(日本電子)

■電子顕微鏡群

  • 電界放射型走査型電子顕微鏡 SEM JSM-6500FA(日本電子)

  • スピンSEM (エイコーエンジニアング・北大共同開発)

  • 電界放射電子銃搭載分析 TEM JEM-2010F(日本電子)

  • 環境セル対応電子顕微鏡システム TEM JEM-2010 (UHR) (日本電子)

  • 超薄膜評価装置 STEM  HD-2000(日立ハイテク)

  • 超高速時間分解光電子顕微鏡システム TR-PEEM

  • 収差補正走査型透過電子顕微鏡 JEM-ARM200F(日本電子)

  • 高分解能3次元構造評価装置 Titan(日本エフイー・アイ)

■生物顕微鏡

  • スペクトルイメージング対応高速レーザー共焦点顕微鏡 A1(ニコン)

■表面分析装置

  • オージェ電子分光装置 AES JAMP-9500F(日本電子)

  • X線光電子分光装置 XPS JPS-9200(日本電子)

  • 電子プローブマイクロアナライザ FE-EPMA JXA-8530F (日本電子)

  • 超高真空・極低温・高磁場SPM  JAFM4500-LT(日本電子)

  • 超高真空STM・スピン偏極STM装置 LT-STM/AFM VT-STM(オミクロン)

■試料作製装置

  • 集束イオンビーム加工観察装置 FIB FB-2100(日立ハイテクス)

  • 複合ビーム加工観察装置 FIB-SEM JIB-4600F/HKD (日本電子)

■その他の共用装置

※支援対象外ですが、利用・技術相談は受け付けております

  • 電界放射型走査型電子顕微鏡 SEM JSM-7001FA(日本電子)

  • 電界放射電子銃搭載分析 TEM JEM-2000FX(日本電子)

  • イオンスライサー (日本電子)

  • 試料作製装置群

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