ナノテクノロジー微細加工に要求される先端機器群の利用提供と、
微細構造解析に関するノウハウの提供、データの解析等も含めた総合的な支援を実施致します。

多様なナノデバイス・ナノ材料の表面・内部構造またその電子状態について様々な環境下で分析・評価を行える研究支援体制を整えています。ユニークな装置群と研究者・技術者が長年培ってきた技術・経験・英知を結びつけ、イノベーション創出への研究開発支援・技術相談サービスを提供します。

事業の概要と目的

本実施機関では(1)表面構造(2)内部構造・3D構造(3)電子状態分析の観点からナノ~マイクロメートルオーダーにわたる材料・デバイスの分析・評価に関する研究支援を行います。

最新のX線光電子分光装置、オージェ電子分光装置、電子線プローブマイクロアナライザーといった表面分析装置による表面構造解析支援、2台の高エネルギーイオン加速器を持つ世界に唯一の超高圧電子顕微鏡を含めた多種多様な電子顕微鏡群とSEM-FIBなどの試料加工装置の組み合わせによる内部構造・3次元構造解析支援,環境セルホルダーを用いたその場観察TEMや超高真空・極低温・強磁場SPMを用いた環境制御下での分析支援、超高速時間分解光電子顕微鏡や高速スペクトルイメージング対応レーザー共焦点顕微鏡などを用いた電子状態やナノデバイスのリアルタイム動態の解析が可能なシステムを提供し、最先端の新機能ナノ物質創出や新規デバイス創製への研究、技術、製品開発の支援を行います。

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